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凈化車(chē)間有兩個(gè)非常重要的點(diǎn)，即車(chē)間的溫度和濕度。如果控制不當(dāng)，會(huì)導(dǎo)致人員和設(shè)備不適。如何調(diào)節(jié)這些溫度和濕度？讓我們青島凈化工程公司分享一些實(shí)用的方法。
1.作為凈化車(chē)間的總體標(biāo)準(zhǔn)，由于加工精度越來(lái)越細(xì)，溫度波動(dòng)范圍的規(guī)定越來(lái)越小。
2.相對(duì)濕度在40%到60%之間，也適合人們感覺(jué)舒適。溫度和濕度過(guò)高會(huì)讓人感到窒息，濕度小于30%會(huì)讓人感到干燥和緩慢。
3.當(dāng)相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí)，如果在高精度設(shè)備或電源電路上產(chǎn)生冷卻循環(huán)水壁厚上的冷凝水，會(huì)立即造成各種安全事故，如腐蝕。
4.相對(duì)濕度可以在35%到40%之間作為合適的。通常使用額外的控制設(shè)備來(lái)凈化車(chē)間和凈化室，以限制靜電的積累。
5.由于光刻膠對(duì)相對(duì)溫度和濕度極為敏感，對(duì)凈化車(chē)間相對(duì)濕度的控制范圍有非常嚴(yán)格的規(guī)定。
6.凈化車(chē)間的溫度和濕度主要根據(jù)加工工藝規(guī)定明確，但在考慮加工工藝規(guī)定的標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，應(yīng)充分考慮人的舒適性。隨著氣體清潔度水平的提高，加工工藝對(duì)溫度和濕度的要求越來(lái)越嚴(yán)格。
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